მექანიკური პოლირების გავლენა მონოკრისტალური p-SiGe ფუძეშრეების ფიზიკურ-მექანიკური თვისებებზე
ჩამოტვირთვები
შესწავლილია მექანიკური პოლირების გავლენა მონოკრისტალური p-SiGe შენადნობების ფუძეშრეების სტრუქტურულად-მგრძნობიარე ფიზიკურ თვისებებზე. ნაჩვენებია სხვადასხვა დისპერსულობის ალმასის ნაწილაკების შემცველი მაპოლირებელი კომპოზიციით დამუშავებული SiGe ფუძეშრეების (111) ორიენტაციის ზედაპირებზე ელექტრული მახასიათებლების, ინფრაწითელი გამოსხივების ოპტიკური შთანთქმის სპექტრების, შინაგანი ხახუნისა და ძვრის მოდულის მნიშვნელობების არამონოტონური ცვლილებები. პოლირების პროცესში წარმოქმნილი დეფექტები ურთიერთქმედებენ მალეგირებელი ბორისა და ტექნოლოგიური წარმოშობის ჟანგბადისა და ნახშირბადის ატომებთან. ოთახის ტემპერატურის პირობებში მექანიკური დამუშავების პროცესში მიმდინარეობს დეფორმაციული წარმოშობის დეფექტების ფორმირება.ინფრაწითელი გამოსხივების შთანთქმის სპექტრებში გამოვლენილია კრისტალურ მესერში არსებული ნახშირბადისა და ჟანგბადის ატომების კონცენტრაციის შემცირება და Ci-Cs, Ci-Oi, V-O დეფექტები. ნავარაუდევია, რომ SiGe ფუძეშრეების (111) სიბრტყეებზე ელექტროფიზიკური და ფიზიკურ-მექანიკური თვისებების არამონოტონური ცვლილებები გამოწვეულია მექანიკური პოლირების პროცესებში წარმოქმნილი დეფექტების ელექტრული აქტიურობისა და დისლოკაცია-დეფექტების ასოციაციების ურთიერთქმედების მექანიზმების ცვლილებებით.
Downloads
В.Д.Вернер, В. Я. Ковязин, Ю. Н. Кузнецов. Внутреннее трение полупроводниковых пластин кремния. Физика и химия обработки Материалов, 1977, #4. Стр.70-75
В.П. Алехин, Физика прочности и пластичности поверхностных материалов. М.: Наука, 1983.
V.V. Kveder, E.A. Steiman, S.A.Shevchenko, H.G. Grimmeiss. Dislocation-related electroluminescence at room temperature in plastically deformed silicon. Phys. Rev. B, 51, 10520 , 1995.
Р.И.Баталов, Р.М. Баязитов, В.А. Андреев, Д.И.Крижков, В.С. Кудоярова. Фотолюминесценция в области 1,5 мкм механически обработанных слоев монокристаллического кремния. Физика и техника полупроводников, 2003, том 37, #12. 1427-1430.
M.S. Blanter, I.S.Golovin, H.Neuhauser, H.-R.Sinning. Internal friction in metallic materials. A handbook. Springer Series in Materials Science. vol. 990, 2007, XVII, 539p.
IR spectrum table and Chart, https://www.sigmaaldrich.com/GE/en/technical-documents/technical-article/analytical-chemistry/photometry-and-reflectometry/ir-spectrum-table
ეს ნამუშევარი ლიცენზირებულია Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 საერთაშორისო ლიცენზიით .
